在PECVD工序石墨舟参与生产到一定的次数后，都必须经过清洗、烘干、饱合等一系列的处理之后才能再次进行生产使用。

在现行的镀舟工艺中要使用硅片镀舟，需进行两次镀舟才能完成饱合的过程，详细步骤如下图。

结合下图，一次镀舟工艺的时间5410S≈89min，如果用硅片镀，刚要在两次镀舟之间增加等待时间和换片时间（如果连续使用同一组硅片镀两次，会使得硅片变成弯曲的废片，无法使用），再加上舟的放置时间及硅片约20分钟，共计约178+20 min，约3.3小时。

按正常一个班次8H进行计算，则一个班次的时间镀2－3次；如果一个班次12H，则一个班次的时间镀3－4次，那么是严重影响生产效率的。

 我们因此考虑对镀舟工艺进行优化，提升工作效率，降低镀舟时间，实现一次镀舟并保证工艺。下面我们就结合镀舟步骤进行分析。

     改后的时间约为6530S≈109min，比两次镀舟节约时间约89分钟。

　　在实验后我们初步将工艺定成这样，那么我们就看下在批量生产中的情况。

　　我们将同一批处理后的4000片硅片进行对比，一组2000片跟踪电参情况。

自助发布各种信息请到 光伏电站网 www.blogcirujano.com --光伏行业信息，光伏电站投融资，光伏产品交易平台。欢迎您的关注